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多晶爐石墨加熱板是真空電阻爐的核心部分。其質(zhì)量直接影響爐子的性能和運(yùn)行成本。熱場(chǎng)的設(shè)計(jì)是多種多樣的。具體設(shè)計(jì)方案主要基于對(duì)工藝流程的具體分析。大多數(shù)真空電阻爐的熱場(chǎng)由四個(gè)主要部件組成:加熱器及其連接部件、隔熱部件(或反射屏)、熱場(chǎng)支撐部件和工件支承爐膛。由于材料問(wèn)題或使用時(shí)間問(wèn)題,這些配件經(jīng)常需要定期更換。在什么情況下需要更換石墨加熱場(chǎng)配件,在什么情況下需要清洗?
1、檢查石墨配件有無(wú)裂紋,特別是石墨坩堝、石墨托盤、石墨坩堝桿有無(wú)裂紋,如有裂紋應(yīng)立即向車間主管匯報(bào),并做出更換,對(duì)有沾硅的地方應(yīng)做出判斷或向車間業(yè)主匯報(bào)。班組長(zhǎng)應(yīng)負(fù)責(zé)在預(yù)期使用壽命前使用5臺(tái)爐前進(jìn)行檢查和評(píng)審。車間主管應(yīng)負(fù)責(zé)在預(yù)期使用壽命前使用5臺(tái)爐后進(jìn)行檢查和評(píng)審。
2.石墨配件使用壽命到期后,石墨配件(石墨托盤、坩堝棒、石墨坩堝)等因逾期使用而可能造成重大損失的部件應(yīng)首先拆除,并更換新的。更換的石墨配件應(yīng)密封。單晶車間、技術(shù)部門和生產(chǎn)部門應(yīng)在搬運(yùn)前進(jìn)行聯(lián)合檢查。應(yīng)仔細(xì)檢查加熱器、保溫管和導(dǎo)流管等其他配件,看是否有微小裂紋和缺陷。原則上,如果沒有這種缺陷,這些石墨配件可以繼續(xù)使用。帶悶爐的石墨熱場(chǎng)配件應(yīng)做詳細(xì)記錄。
3.發(fā)生事故時(shí),應(yīng)詳細(xì)記錄單晶石墨熱場(chǎng)配件。有問(wèn)題的石墨配件應(yīng)做詳細(xì)記錄,并放在指定的地方,以防混淆。